שיטה לעיצוב מטרות מטרולוגיות, מצעים בעלי מטרות מטרולוגיות, שיטה למדידת כיסוי ושיטה להכנת התקן - פטנט 248982 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 248982
שם האמצאה:: שיטה לעיצוב מטרות מטרולוגיות, מצעים בעלי מטרות מטרולוגיות, שיטה למדידת כיסוי ושיטה להכנת התקן
שם באנגלית:: METHOD OF DESIGNING METROLOGY TARGETS, SUBSTRATES HAVING METROLOGY TARGETS, METHOD OF MEASURING OVERLAY, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
	פרסום בינלאומי	2015/185166	הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
02/06/2014	דין קדימה	62/006524	ארה"ב (US)
01/08/2014	בקשה בינלאומית	PCT/EP/2014/066616	משרד הפטנטים האירופי (EP)
15/11/2016	בקשת PCT	248982	ישראל (IL)
31/01/2017	פרסום לאומי	248982	ישראל (IL)

סיווגים (IPC)

G03F: פיזיקה > צילום; סינמטוגרפיה; טכניקות אנלוגיות באמצעות גלים שאינם אופטיים; אלקטרוגרפיה; הולוגרפיה

מגיש

שם:: ASML NETHERLANDS B.V.

פטנטים דומים