קונץ פטנט

תשתית לשימוש במטרולוגיה, שיטה מטרולוגית ושיטה לייצור מכשיר פטנט 224438

  כללי
מספר פטנט:
224438
שם האמצאה:
תשתית לשימוש במטרולוגיה, שיטה מטרולוגית ושיטה לייצור מכשיר
שם באנגלית:
SUBSTRATE FOR USE IN METROLOGY, METROLOGY METHOD AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
  בקשות ופרסומים
תאריך סוג מספר מדינה
פרסום בינלאומי 2012/022584 הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
דין קדימה 61/374,766 ארה"ב (US)
בקשה בינלאומית PCT/EP/2011/062739 משרד הפטנטים האירופי (EP)
בקשת PCT 224438 ישראל (IL)
פרסום לאומי 224438 ישראל (IL)
  סיווגים (IPC)
  • G03F: פיזיקה > צילום; סינמטוגרפיה; טכניקות אנלוגיות באמצעות גלים שאינם אופטיים; אלקטרוגרפיה; הולוגרפיה
  מגיש
שם:
ASML NETHERLANDS B.V.
  פטנטים דומים