שיטה ומתקן מטרולוגי ושיטה לייצור מכשיר - פטנט 230903 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 230903
שם האמצאה:: שיטה ומתקן מטרולוגי ושיטה לייצור מכשיר
שם באנגלית:: METROLOGY METHOD AND APPARATUS, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
	פרסום בינלאומי	2013/026598	הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
23/08/2011	דין קדימה	61/526651	ארה"ב (US)
28/06/2012	בקשה בינלאומית	PCT/EP/2012/062555	משרד הפטנטים האירופי (EP)
10/02/2014	בקשת PCT	230903	ישראל (IL)
31/03/2014	פרסום לאומי	230903	ישראל (IL)

סיווגים (IPC)

G03F: פיזיקה > צילום; סינמטוגרפיה; טכניקות אנלוגיות באמצעות גלים שאינם אופטיים; אלקטרוגרפיה; הולוגרפיה

מגיש

שם:: ASML NETHERLANDS B.V.

פטנטים דומים