כלי כיסוי מטרולוגי מבוסס דיפרקציה ושיטה - פטנט 243020 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 243020
שם האמצאה:: כלי כיסוי מטרולוגי מבוסס דיפרקציה ושיטה
שם באנגלית:: DIFFRACTION BASED OVERLAY METROLOGY TOOL AND METHOD

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
	פרסום בינלאומי	2009/078708	הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
17/12/2007	דין קדימה	61/006073	ארה"ב (US)
09/12/2008	בקשה בינלאומית	PCT/NL/2008/050785	הולנד (NL)
10/12/2015	בקשת PCT	243020	ישראל (IL)
31/01/2016	פרסום לאומי	243020	ישראל (IL)

סיווגים (IPC)

G03F: פיזיקה > צילום; סינמטוגרפיה; טכניקות אנלוגיות באמצעות גלים שאינם אופטיים; אלקטרוגרפיה; הולוגרפיה

מגיש

שם:: ASML NETHERLANDS B.V.

פטנטים דומים