שיטה ומערכת מטרולוגית ושיטה לייצור התקן - פטנט 225971 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 225971
שם האמצאה:: שיטה ומערכת מטרולוגית ושיטה לייצור התקן
שם באנגלית:: METROLOGY METHOD AND APPARATUS, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
	פרסום בינלאומי	2012/062501	הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
12/11/2010	דין קדימה	61/412980	ארה"ב (US)
15/09/2011	בקשה בינלאומית	PCT/EP/2011/066038	משרד הפטנטים האירופי (EP)
25/04/2013	בקשת PCT	225971	ישראל (IL)
27/06/2013	פרסום לאומי	225971	ישראל (IL)

סיווגים (IPC)

G03F: פיזיקה > צילום; סינמטוגרפיה; טכניקות אנלוגיות באמצעות גלים שאינם אופטיים; אלקטרוגרפיה; הולוגרפיה

מגיש

שם:: ASML NETHERLANDS B.V.

פטנטים דומים