קונץ פטנט
ראשי
חיפוש פטנטים
אודות
צור קשר
מכשיר ושיטה מטרולוגית, מתקן ליטוגרפי ושיטה לייצורו
פטנט 207506
כללי
מספר פטנט:
207506
שם האמצאה:
מכשיר ושיטה מטרולוגית, מתקן ליטוגרפי ושיטה לייצורו
שם באנגלית:
METROLOGY METHOD AND APPARATUS, LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
בקשות ופרסומים
תאריך
סוג
מספר
מדינה
פרסום בינלאומי
2009/106279
הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
29/02/2008
דין קדימה
61/064358
ארה"ב (US)
23/02/2009
בקשה בינלאומית
PCT/EP/2009/001271
משרד הפטנטים האירופי (EP)
09/08/2010
בקשת PCT
207506
ישראל (IL)
31/12/2014
פרסום לאומי
207506
ישראל (IL)
מגיש
שם:
ASML NETHERLANDS B.V.
כתובת:
DE RUN 6501 NL-5504 DR VELDHOVEN , NL
מדינה:
הולנד
מסירת הודעות
שם:
לוצאטו את לוצאטו
כתובת:
גן תעשייה, עומר, באר שבע 84152
מדינה:
ישראל
טלפון:
073-2262626
פקס:
073-2262627
דוא"ל:
ilpto@luzzatto.co.il
סוכן
שם:
לוצאטו את לוצאטו
כתובת:
גן תעשייה, עומר, באר שבע 84152
מדינה:
ישראל
טלפון:
073-2262626
פקס:
073-2262627
דוא"ל:
ilpto@luzzatto.co.il
מסמכים
פרטי הבקשה
שרטוטים
פטנטים דומים
מערכת ליטוגרפית ושיטה לייצור התקן
התקן לפיקוח, התקן ליטוגרפי, ושיטה לייצור מכשיר
שיטה ומערכת ליתוגרפית
מכשיר ליטוגרפי, שיטה להעברת מצע ושיטה להכנת התקן
אוכסימים של דיבנזוציקלו - הפטנון ודיבזוציקלו - אוקטאנון והכנתם