קונץ פטנט
ראשי
חיפוש פטנטים
אודות
צור קשר
הגדרת מידות להליך ליתוגרפיה
פטנט 236397
כללי
מספר פטנט:
236397
שם האמצאה:
הגדרת מידות להליך ליתוגרפיה
שם באנגלית:
METROLOGY FOR LITHOGRAPHY
בקשות ופרסומים
תאריך
סוג
מספר
מדינה
פרסום בינלאומי
2014/005828
הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
05/07/2012
דין קדימה
61/668277
ארה"ב (US)
17/06/2013
בקשה בינלאומית
PCT/EP/2013/062516
משרד הפטנטים האירופי (EP)
22/12/2014
בקשת PCT
236397
ישראל (IL)
26/02/2015
פרסום לאומי
236397
ישראל (IL)
סיווגים (IPC)
G03F : פיזיקה > צילום; סינמטוגרפיה; טכניקות אנלוגיות באמצעות גלים שאינם אופטיים; אלקטרוגרפיה; הולוגרפיה
מגיש
שם:
ASML NETHERLANDS B.V.
פטנטים דומים
התקן מטרולוגי, התקן ליתוגרפי ושיטה למדידת תכונה של סובסטרט
מערכת תאורה קטדיופטרית עבור מטרולוגיה
מטרולוגיה מודעת תהליך
מכשיר צפייה לליטוגרפיה
שיטת צפייה לליטוגרפיה