התקן מטרולוגי, התקן ליתוגרפי ושיטה למדידת תכונה של סובסטרט - פטנט 215621 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 215621
שם האמצאה:: התקן מטרולוגי, התקן ליתוגרפי ושיטה למדידת תכונה של סובסטרט
שם באנגלית:: METROLOGY APPARATUS, LITHOGRAPHY APPARATUS AND METHOD OF MEASURING A PROPERTY OF A SUBSTRATE

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
	פרסום בינלאומי	2010/124704	הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
30/04/2009	בקשה בינלאומית	PCT/EP/2009/003155	משרד הפטנטים האירופי (EP)
06/10/2011	בקשת PCT	215621	ישראל (IL)
31/01/2012	פרסום לאומי	215621	ישראל (IL)

סיווגים (IPC)

G03F: פיזיקה > צילום; סינמטוגרפיה; טכניקות אנלוגיות באמצעות גלים שאינם אופטיים; אלקטרוגרפיה; הולוגרפיה

מגיש

שם:: ASML NETHERLANDS B.V.

פטנטים דומים