שיטת צפייה לליטוגרפיה - פטנט 211409 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 211409
שם האמצאה:: שיטת צפייה לליטוגרפיה
שם באנגלית:: INSPECTION METHOD FOR LITHOGRAPHY

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
	פרסום בינלאומי	2010/031510	הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
16/09/2008	דין קדימה	61/097374	ארה"ב (US)
08/09/2009	בקשה בינלאומית	PCT/EP/2009/006518	משרד הפטנטים האירופי (EP)
24/02/2011	בקשת PCT	211409	ישראל (IL)
31/05/2011	פרסום לאומי	211409	ישראל (IL)

סיווגים (IPC)

G03F: פיזיקה > צילום; סינמטוגרפיה; טכניקות אנלוגיות באמצעות גלים שאינם אופטיים; אלקטרוגרפיה; הולוגרפיה

מגיש

שם:: ASML NETHERLANDS B.V.

פטנטים דומים