מטרולוגיה מודעת תהליך - פטנט 231667 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 231667
שם האמצאה:: מטרולוגיה מודעת תהליך
שם באנגלית:: PROCESS AWARE METROLOGY

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
	פרסום בינלאומי	2013/043831	הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
23/09/2011	דין קדימה	61/538,699	ארה"ב (US)
02/03/2012	דין קדימה	13/411,433	ארה"ב (US)
20/09/2012	בקשה בינלאומית	PCT/US/2012/056272	ארה"ב (US)
23/03/2014	בקשת PCT	231667	ישראל (IL)
28/05/2014	פרסום לאומי	231667	ישראל (IL)

סיווגים (IPC)

H01L: חשמל > אלמנטים חשמליים בסיסיים

מגיש

שם:: KLA-TENCOR CORPORATION

פטנטים דומים