קונץ פטנט
ראשי
חיפוש פטנטים
אודות
צור קשר
מערכת תאורה קטדיופטרית עבור מטרולוגיה
פטנט 212266
כללי
מספר פטנט:
212266
שם האמצאה:
מערכת תאורה קטדיופטרית עבור מטרולוגיה
שם באנגלית:
CATADIOPTRIC ILLUMINATION SYSTEM FOR METROLOGY
בקשות ופרסומים
תאריך
סוג
מספר
מדינה
22/06/2010
דין קדימה
61/357411
ארה"ב (US)
11/04/2011
בקשה לאומית
212266
ישראל (IL)
30/06/2011
פרסום לאומי
212266
ישראל (IL)
סיווגים (IPC)
G02B : פיזיקה > אופטיקה
מגיש
שם:
ASML HOLDING N.V.
פטנטים דומים
התקן לתאורת חור מנעול
מערכת תאורה
מטרולוגיה מודעת תהליך
הגדרת מידות להליך ליתוגרפיה
מערכות ושיטות מטורולוגיות