מכשיר צפייה לליטוגרפיה - פטנט 209000 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 209000
שם האמצאה:: מכשיר צפייה לליטוגרפיה
שם באנגלית:: INSPECTION APPARATUS FOR LITHOGRAPHY

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
	פרסום בינלאומי	2009/138162	הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
12/05/2008	דין קדימה	61/071673	ארה"ב (US)
27/04/2009	בקשה בינלאומית	PCT/EP/2009/003051	משרד הפטנטים האירופי (EP)
28/10/2010	בקשת PCT	209000	ישראל (IL)
31/01/2011	פרסום לאומי	209000	ישראל (IL)

סיווגים (IPC)

G03F: פיזיקה > צילום; סינמטוגרפיה; טכניקות אנלוגיות באמצעות גלים שאינם אופטיים; אלקטרוגרפיה; הולוגרפיה

מגיש

שם:: ASML NETHERLANDS B.V.

פטנטים דומים