כללי
מספר פטנט:
235964
שם האמצאה:
מקור פוטוני, התקן מטרולוגי, מערכת ליתוגרפית ושיטה לייצור התקן
שם באנגלית:
PHOTON SOURCE, METROLOGY APPARATUS, LITHOGRAPHIC SYSTEM AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
  בקשות ופרסומים
תאריך סוג מספר מדינה
פרסום בינלאומי 2014/000998 הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
דין קדימה 61/658654 ארה"ב (US)
בקשה בינלאומית PCT/EP/2013/060664 משרד הפטנטים האירופי (EP)
בקשת PCT 235964 ישראל (IL)
פרסום לאומי 235964 ישראל (IL)
  סיווגים (IPC)
  • G03F: פיזיקה > צילום; סינמטוגרפיה; טכניקות אנלוגיות באמצעות גלים שאינם אופטיים; אלקטרוגרפיה; הולוגרפיה