קונץ פטנט
ראשי
חיפוש פטנטים
אודות
צור קשר
מקור פוטוני, התקן מטרולוגי, מערכת ליתוגרפית ושיטה לייצור התקן
פטנט 235964
כללי
מספר פטנט:
235964
שם האמצאה:
מקור פוטוני, התקן מטרולוגי, מערכת ליתוגרפית ושיטה לייצור התקן
שם באנגלית:
PHOTON SOURCE, METROLOGY APPARATUS, LITHOGRAPHIC SYSTEM AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
בקשות ופרסומים
תאריך
סוג
מספר
מדינה
פרסום בינלאומי
2014/000998
הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
12/06/2012
דין קדימה
61/658654
ארה"ב (US)
23/05/2013
בקשה בינלאומית
PCT/EP/2013/060664
משרד הפטנטים האירופי (EP)
27/11/2014
בקשת PCT
235964
ישראל (IL)
29/01/2015
פרסום לאומי
235964
ישראל (IL)
סיווגים (IPC)
G03F : פיזיקה > צילום; סינמטוגרפיה; טכניקות אנלוגיות באמצעות גלים שאינם אופטיים; אלקטרוגרפיה; הולוגרפיה
מגיש
שם:
ASML NETHERLANDS B.V.
פטנטים דומים
מכשיר ושיטה מטרולוגית, מתקן ליטוגרפי ושיטה לייצורו
שיטה ומכשיר מטרולוגיים, ושיטה ליצירת מערכת ליטוגרפיים ומכשיר
שיטה והתקן למטרולוגיה, מערכת ליתוגרפית ושיטה לייצור מכשיר
שיטת יישור ומנגנון, מנגנון הדפסה על אבן, מנגנון מדידה ושיטה לייצור מכשיר
שיטה ומכשיר מטרולוגיים, מצע, מערכת ליטוגרפית ושיטת לייצור התקן