שיטת יישור ומנגנון, מנגנון הדפסה על אבן, מנגנון מדידה ושיטה לייצור מכשיר - פטנט 194580 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 194580
שם האמצאה:: שיטת יישור ומנגנון, מנגנון הדפסה על אבן, מנגנון מדידה ושיטה לייצור מכשיר
שם באנגלית:: ALIGNMENT METHOD AND APPARATUS, LITHOGRAPHIC APPARATUS, METROLOGY APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
09/10/2007	דין קדימה	60/960647	ארה"ב (US)
06/10/2008	בקשה לאומית	194580	ישראל (IL)
03/08/2009	פרסום לאומי	194580	ישראל (IL)

מגיש

שם:: ASML NETHERLANDS B.V.

פטנטים דומים