כללי
מספר פטנט:
234539
שם האמצאה:
שיטה והתקן למטרולוגיה, מערכת ליתוגרפית ושיטה לייצור מכשיר
שם באנגלית:
METROLOGY METHOD AND APPARATUS, LITHOGRAPHIC SYSTEM AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
  בקשות ופרסומים
תאריך סוג מספר מדינה
פרסום בינלאומי 2013/143814 הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
דין קדימה 61/616398 ארה"ב (US)
בקשה בינלאומית PCT/EP/2013/054504 משרד הפטנטים האירופי (EP)
בקשת PCT 234539 ישראל (IL)
פרסום לאומי 234539 ישראל (IL)
  סיווגים (IPC)
  • G03F: פיזיקה > צילום; סינמטוגרפיה; טכניקות אנלוגיות באמצעות גלים שאינם אופטיים; אלקטרוגרפיה; הולוגרפיה