קונץ פטנט
ראשי
חיפוש פטנטים
אודות
צור קשר
שיטה והתקן למטרולוגיה, מערכת ליתוגרפית ושיטה לייצור מכשיר
פטנט 234539
כללי
מספר פטנט:
234539
שם האמצאה:
שיטה והתקן למטרולוגיה, מערכת ליתוגרפית ושיטה לייצור מכשיר
שם באנגלית:
METROLOGY METHOD AND APPARATUS, LITHOGRAPHIC SYSTEM AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
בקשות ופרסומים
תאריך
סוג
מספר
מדינה
פרסום בינלאומי
2013/143814
הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
27/03/2012
דין קדימה
61/616398
ארה"ב (US)
06/03/2013
בקשה בינלאומית
PCT/EP/2013/054504
משרד הפטנטים האירופי (EP)
08/09/2014
בקשת PCT
234539
ישראל (IL)
30/10/2014
פרסום לאומי
234539
ישראל (IL)
סיווגים (IPC)
G03F : פיזיקה > צילום; סינמטוגרפיה; טכניקות אנלוגיות באמצעות גלים שאינם אופטיים; אלקטרוגרפיה; הולוגרפיה
מגיש
שם:
ASML NETHERLANDS B.V.
פטנטים דומים
מערכת ליטוגרפית ושיטה לייצור התקן
התקן לפיקוח, התקן ליטוגרפי, ושיטה לייצור מכשיר
שיטה ומערכת ליתוגרפית
מכשיר ליטוגרפי, שיטה להעברת מצע ושיטה להכנת התקן
אוכסימים של דיבנזוציקלו - הפטנון ודיבזוציקלו - אוקטאנון והכנתם