שיטה ומכשיר מטרולוגיים, מצע, מערכת ליטוגרפית ושיטת לייצור התקן - פטנט 235833 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 235833
שם האמצאה:: שיטה ומכשיר מטרולוגיים, מצע, מערכת ליטוגרפית ושיטת לייצור התקן
שם באנגלית:: METROLOGY METHOD AND APPARATUS, SUBSTRATE, LITHOGRAPHIC SYSTEM AND DEVICE MANUFACTURING METHOD

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
	פרסום בינלאומי	2013/178422	הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
29/05/2012	דין קדימה	61/652552	ארה"ב (US)
01/05/2013	בקשה בינלאומית	PCT/EP/2013/059061	משרד הפטנטים האירופי (EP)
20/11/2014	בקשת PCT	235833	ישראל (IL)
29/01/2015	פרסום לאומי	235833	ישראל (IL)

סיווגים (IPC)

G03F: פיזיקה > צילום; סינמטוגרפיה; טכניקות אנלוגיות באמצעות גלים שאינם אופטיים; אלקטרוגרפיה; הולוגרפיה

מגיש

שם:: ASML NETHERLANDS B.V.

פטנטים דומים