כללי
מספר פטנט:
226055
שם האמצאה:
שיטה ומכשיר מטרולוגיים, ושיטה ליצירת מערכת ליטוגרפיים ומכשיר
שם באנגלית:
METROLOGY METHOD AND APPARATUS, LITHOGRAPHIC SYSTEM AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
  בקשות ופרסומים
תאריך סוג מספר מדינה
פרסום בינלאומי 2012/062858 הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
דין קדימה 61/412,980 ארה"ב (US)
דין קדימה 61/420,428 ארה"ב (US)
בקשה בינלאומית PCT/EP/2011/069845 משרד הפטנטים האירופי (EP)
בקשת PCT 226055 ישראל (IL)
פרסום לאומי 226055 ישראל (IL)
  סיווגים (IPC)
  • G03F: פיזיקה > צילום; סינמטוגרפיה; טכניקות אנלוגיות באמצעות גלים שאינם אופטיים; אלקטרוגרפיה; הולוגרפיה