שיטת בדיקה עבור ליטוגרפיה - פטנט 229689 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 229689
שם האמצאה:: שיטת בדיקה עבור ליטוגרפיה
שם באנגלית:: INSPECTION FOR LITHOGRAPHY

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
	פרסום בינלאומי	2012/171687	הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
14/06/2011	דין קדימה	61/496,644	ארה"ב (US)
23/04/2012	בקשה בינלאומית	PCT/EP/2012/057380	משרד הפטנטים האירופי (EP)
28/11/2013	בקשת PCT	229689	ישראל (IL)
30/01/2014	פרסום לאומי	229689	ישראל (IL)

סיווגים (IPC)

G03F: פיזיקה > צילום; סינמטוגרפיה; טכניקות אנלוגיות באמצעות גלים שאינם אופטיים; אלקטרוגרפיה; הולוגרפיה

מגיש

שם:: ASML NETHERLANDS B.V.

פטנטים דומים