שיטת בדיקה עבור ליתוגרפיה - פטנט 217388 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 217388
שם האמצאה:: שיטת בדיקה עבור ליתוגרפיה
שם באנגלית:: INSPECTION METHOD FOR LITHOGRAPHY

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
	פרסום בינלאומי	2011/012412	הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
30/07/2009	דין קדימה	61/229814	ארה"ב (US)
07/07/2010	בקשה בינלאומית	PCT/EP/2010/059698	משרד הפטנטים האירופי (EP)
05/01/2012	בקשת PCT	217388	ישראל (IL)
29/02/2012	פרסום לאומי	217388	ישראל (IL)

סיווגים (IPC)

G03F: פיזיקה > צילום; סינמטוגרפיה; טכניקות אנלוגיות באמצעות גלים שאינם אופטיים; אלקטרוגרפיה; הולוגרפיה

מגיש

שם:: ASML NETHERLANDS B.V.

פטנטים דומים