שיטת בדיקה עבור ליטוגרפיה - פטנט 215874 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 215874
שם האמצאה:: שיטת בדיקה עבור ליטוגרפיה
שם באנגלית:: INSPECTION METHOD FOR LITHOGRAPHY

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
	פרסום בינלאומי	2010/130600	הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
12/05/2009	דין קדימה	61/177468	ארה"ב (US)
04/05/2010	בקשה בינלאומית	PCT/EP/2010/056016	משרד הפטנטים האירופי (EP)
23/10/2011	בקשת PCT	215874	ישראל (IL)
31/01/2012	פרסום לאומי	215874	ישראל (IL)

סיווגים (IPC)

G03F: פיזיקה > צילום; סינמטוגרפיה; טכניקות אנלוגיות באמצעות גלים שאינם אופטיים; אלקטרוגרפיה; הולוגרפיה

מגיש

שם:: ASML NETHERLANDS B.V.

פטנטים דומים