שיטת בדיקה עבור ליטוגפיה - פטנט 221955 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 221955
שם האמצאה:: שיטת בדיקה עבור ליטוגפיה
שם באנגלית:: INSPECTION FOR LITHOGRAPHY

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
	פרסום בינלאומי	2011/113663	הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
18/03/2010	דין קדימה	61/315162	ארה"ב (US)
21/02/2011	בקשה בינלאומית	PCT/EP/2011/052491	משרד הפטנטים האירופי (EP)
13/09/2012	בקשת PCT	221955	ישראל (IL)
29/11/2012	פרסום לאומי	221955	ישראל (IL)

סיווגים (IPC)

G03F: פיזיקה > צילום; סינמטוגרפיה; טכניקות אנלוגיות באמצעות גלים שאינם אופטיים; אלקטרוגרפיה; הולוגרפיה

מגיש

שם:: ASML NETHERLANDS B.V.

פטנטים דומים