מצע ומכשיר לעיצוב דפוסים לשימוש במטרולוגיה, שיטת מטרולוגית ושיטת ייצור מכשור - פטנט 228201 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 228201
שם האמצאה:: מצע ומכשיר לעיצוב דפוסים לשימוש במטרולוגיה, שיטת מטרולוגית ושיטת ייצור מכשור
שם באנגלית:: SUBSTRATE AND PATTERNING DEVICE FOR USE IN METROLOGY, METROLOGY METHOD AND DEVICE MANUFACTURING METHOD

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
	פרסום בינלאומי	2012/126684	הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
24/03/2011	דין קדימה	61/467080	ארה"ב (US)
20/02/2012	בקשה בינלאומית	PCT/EP/2012/052862	משרד הפטנטים האירופי (EP)
29/08/2013	בקשת PCT	228201	ישראל (IL)
31/10/2013	פרסום לאומי	228201	ישראל (IL)

סיווגים (IPC)

G03F: פיזיקה > צילום; סינמטוגרפיה; טכניקות אנלוגיות באמצעות גלים שאינם אופטיים; אלקטרוגרפיה; הולוגרפיה

מגיש

שם:: ASML NETHERLANDS B.V.

פטנטים דומים