קונץ פטנט
ראשי
חיפוש פטנטים
אודות
צור קשר
מערכות אופטיות רפלקטיביות עבור בדיקת פרוסת פס–רחב
פטנט 186168
כללי
מספר פטנט:
186168
שם האמצאה:
מערכות אופטיות רפלקטיביות עבור בדיקת פרוסת פס–רחב
שם באנגלית:
ALL-REFLECTIVE OPTICAL SYSTEMS FOR BROADBAND WAFER INSPECTION
בקשות ופרסומים
תאריך
סוג
מספר
מדינה
פרסום בינלאומי
2006/104748
הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
31/03/2005
דין קדימה
11/097526
ארה"ב (US)
21/03/2006
בקשה בינלאומית
PCT/US/2006/010042
ארה"ב (US)
23/09/2007
בקשת PCT
186168
ישראל (IL)
29/02/2012
פרסום לאומי
186168
ישראל (IL)
מגיש
שם:
KLA-TENCOR TECHNOLOGIES CORPORATION
כתובת:
One Technology Drive Milpitas California 95035 , US
מדינה:
ארה"ב
מסירת הודעות
שם:
פרל כהן צדק לצר
כתובת:
מרכז גב-ים 1, רח' שנקר 5, הרצליה 46733
מדינה:
ישראל
טלפון:
099728000
פקס:
099728001
דוא"ל:
ipomail@pczlaw.com
סוכן
שם:
פרל כהן צדק לצר
כתובת:
מרכז גב-ים 1, רח' שנקר 5, הרצליה 46733
מדינה:
ישראל
טלפון:
099728000
פקס:
099728001
דוא"ל:
ipomail@pczlaw.com
מסמכים
פרטי הבקשה
שרטוטים
תביעות
פטנטים דומים
מערכת קונוסקופית לבדיקת וופר
בקרת פרוסת מוליך למחצה באמצעות הקרנה מתמשכת של דפקים קצרים בפס רחב
מערכת קונפוקלית לבדיקת וופרים
מערכת בחינה ושיטה לבחינת מצע חתוך
ממין\בוחן אוטומטי של פרוסת מוליך למחצה בעל בידוק אופטי מורחב