מתקן חשיפה, שיטת חשיפה ושיטת ייצור המתקן - פטנט 183515 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 183515
שם האמצאה:: מתקן חשיפה, שיטת חשיפה ושיטת ייצור המתקן
שם באנגלית:: EXPOSURE APPARATUS, EXPOSURE METHOD, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
	פרסום בינלאומי	2006/059720	הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
02/12/2004	דין קדימה	2004-349729	יפן (JP)
02/12/2005	בקשה בינלאומית	PCT/JP/2005/022193	יפן (JP)
29/05/2007	בקשת PCT	183515	ישראל (IL)
20/09/2007	פרסום לאומי	183515	ישראל (IL)

מגיש

שם:: NIKON CORPORATION

מגיש/ממציא

שם:: TAKAYA OKADA

פטנטים דומים