כללי
מספר פטנט:
179787
שם האמצאה:
ציוד חשיפה, שיטת חשיפה ושיטה לייצור מתקן
שם באנגלית:
EXPOSURE EQUIPMENT, EXPOSURE METHOD AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
  בקשות ופרסומים
תאריך סוג מספר מדינה
פרסום בינלאומי 2005/122221 הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
דין קדימה 2004-172569 יפן (JP)
דין קדימה 2004-245260 יפן (JP)
דין קדימה 2004-330582 יפן (JP)
בקשה בינלאומית PCT/JP/2005/010576 יפן (JP)
בקשת PCT 179787 ישראל (IL)
פרסום לאומי 179787 ישראל (IL)
  סיווגים (IPC)
  • H01L: חשמל > אלמנטים חשמליים בסיסיים
  מגיש
שם:
NIKON CORPORATION
  מגיש
שם:
NIKON ENGINEERING CO. LTD
  מגיש/ממציא
שם:
HIROYUKI NAGASAKA