שיטת חשיפה ושיטה לייצר מתקן - פטנט 180840 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 180840
שם האמצאה:: שיטת חשיפה ושיטה לייצר מתקן
שם באנגלית:: EXPOSURE METHOD AND DEVICE MANUFACTURING METHOD

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
	פרסום בינלאומי	2006/009169	הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
21/07/2004	דין קדימה	2004-212756	יפן (JP)
29/06/2005	דין קדימה	2005-190728	יפן (JP)
20/07/2005	בקשה בינלאומית	PCT/JP/2005/013311	יפן (JP)
21/01/2007	בקשת PCT	180840	ישראל (IL)
03/06/2007	פרסום לאומי	180840	ישראל (IL)

סיווגים (IPC)

H01L: חשמל > אלמנטים חשמליים בסיסיים

מגיש

שם:: NIKON CORPORATION

מגיש/ממציא

שם:: HIROYUKI NAGASAKA

מגיש/ממציא

שם:: TOMOHARU FUJIWARA

פטנטים דומים