שיטת ומתקן חשיפה ומתקן ליצורו - פטנט 188276 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 188276
שם האמצאה:: שיטת ומתקן חשיפה ומתקן ליצורו
שם באנגלית:: EXPOSURE METHOD AND EXPOSURE APPARATUS, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
	פרסום בינלאומי	2007/000984	הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
28/06/2005	דין קדימה	2005-188837	יפן (JP)
27/06/2006	בקשה בינלאומית	PCT/JP/2006/312763	יפן (JP)
19/12/2007	בקשת PCT	188276	ישראל (IL)
13/04/2008	פרסום לאומי	188276	ישראל (IL)

מגיש

שם:: NIKON CORPORATION

מגיש/ממציא

שם:: YUSAKU UEHARA

מגיש/ממציא

שם:: KIYOSHI UCHIKAWA

מגיש/ממציא

שם:: SATOSHI ISHIYAMA

פטנטים דומים