תהליך שחיקת פורוגן לאחר ניקוי כימי-מכני ( CMP ) - פטנט 169512 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 169512
שם האמצאה:: תהליך שחיקת פורוגן לאחר ניקוי כימי-מכני ( CMP )
שם באנגלית:: POST CMP POROGEN BURN OUT PROCESS

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
	פרסום בינלאומי	2004/064157	הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
07/01/2003	דין קדימה	10/338105	ארה"ב (US)
09/10/2003	בקשה בינלאומית	PCT/US/2003/031900	ארה"ב (US)
03/07/2005	בקשת PCT	169512	ישראל (IL)
21/02/2006	פרסום לאומי	169512	ישראל (IL)

מגיש

שם:: IBM CORPORATION

פטנטים דומים