מבנה בדיקה למעכב בתהליך ליטוש מכנו כימי מתכות - פטנט 136608 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 136608
שם האמצאה:: מבנה בדיקה למעכב בתהליך ליטוש מכנו כימי מתכות
שם באנגלית:: TEST STRUCTURE FOR METAL CMP PROCESS MONITORING

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
20/02/2000	דין קדימה	134626	ישראל (IL)
06/06/2000	בקשה לאומית	136608	ישראל (IL)
14/06/2001	פרסום לאומי	136608	ישראל (IL)

מגיש

שם:: NOVA MEASURING INSTRUMENTS LTD.

פטנטים דומים