קונץ פטנט
ראשי
חיפוש פטנטים
אודות
צור קשר
שיטה להשגחת תהליך PMC של שכבות מתכת
פטנט 128920
כללי
מספר פטנט:
128920
שם האמצאה:
שיטה להשגחת תהליך PMC של שכבות מתכת
שם באנגלית:
METHOD FOR MONITORING METAL CMP
בקשות ופרסומים
תאריך
סוג
מספר
מדינה
10/03/1999
בקשה לאומית
128920
ישראל (IL)
17/02/2000
פרסום לאומי
128920
ישראל (IL)
מגיש
שם:
NOVA MEASURING INSTRUMENTS LTD.
פטנטים דומים
מעקב אחר תהליך ליטוש מכנו כימי של מתכות
מבנה בדיקה למעכב בתהליך ליטוש מכנו כימי מתכות
מבנה בדיקה לבקרת תהליך ליטוש מכנו–כימי של מתכות
הרכב לליטוש כימי–מכני המכיל יון מתכתי ושיטה לשימוש בו
שיטת ליטוש כימי–מכאני עבור מצעים המכילים מתכת