שיטת אנליזה של קו שפכים ומערכת לבקרת תהליך CMP - פטנט 209308 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 209308
שם האמצאה:: שיטת אנליזה של קו שפכים ומערכת לבקרת תהליך CMP
שם באנגלית:: IN-LINE EFFLUENT ANALYSIS METHOD AND APPARATUS FOR CMP PROCESS CONTROL

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
	פרסום בינלאומי	2009/139912	הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
15/05/2008	דין קדימה	61/127798	ארה"ב (US)
14/05/2009	דין קדימה	12/454201	ארה"ב (US)
15/05/2009	בקשה בינלאומית	PCT/US/2009/003044	ארה"ב (US)
15/11/2010	בקשת PCT	209308	ישראל (IL)
31/01/2011	פרסום לאומי	209308	ישראל (IL)

סיווגים (IPC)

H01L: חשמל > אלמנטים חשמליים בסיסיים

מגיש

שם:: CONFLUENSE LLC

פטנטים דומים