קונץ פטנט
ראשי
חיפוש פטנטים
אודות
צור קשר
מעקב אחר תהליך ליטוש מכנו כימי של מתכות
פטנט 146924
כללי
מספר פטנט:
146924
שם האמצאה:
מעקב אחר תהליך ליטוש מכנו כימי של מתכות
שם באנגלית:
METAL CMP PROCESS MONITORING
בקשות ופרסומים
תאריך
סוג
מספר
מדינה
04/12/2001
בקשה לאומית
146924
ישראל (IL)
08/03/2007
פרסום לאומי
146924
ישראל (IL)
מגיש
שם:
NOVA MEASURING INSTRUMENTS LTD.
כתובת:
P.O.B. 266, WEIZMANN SCIENTIFIC PARK, REHOVOT 76100 , IL
מדינה:
ישראל
מסירת הודעות
שם:
נובה מכשירי מדידה בע" מ
כתובת:
וייצמן פארק למדע, רחובות 76100
מדינה:
ישראל
סוכן
שם:
נובה מכשירי מדידה בע" מ
כתובת:
וייצמן פארק למדע, רחובות 76100
מדינה:
ישראל
מסמכים
פרטי הבקשה
שרטוטים
תביעות
פטנטים דומים
שיטה להשגחת תהליך PMC של שכבות מתכת
מבנה בדיקה למעכב בתהליך ליטוש מכנו כימי מתכות
מבנה בדיקה לבקרת תהליך ליטוש מכנו–כימי של מתכות
תהליך שחיקת פורוגן לאחר ניקוי כימי-מכני ( CMP )
תרכובות ושיטות אידוש מתכות לליטוש כימי–מכני