מבנה בדיקה לבקרת תהליך ליטוש מכנו–כימי של מתכות - פטנט 134626 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 134626
שם האמצאה:: מבנה בדיקה לבקרת תהליך ליטוש מכנו–כימי של מתכות
שם באנגלית:: TEST STRUCTURE FOR METAL CMP PROCESS CONTROL

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
20/02/2000	בקשה לאומית	134626	ישראל (IL)
01/08/2006	פרסום לאומי	134626	ישראל (IL)

מגיש

שם:: NOVA MEASURING INSTRUMENTS LTD.
כתובת:: P.O.B. 266, WEIZMANN SCIENTIFIC PARK, REHOVOT 76100 , IL
מדינה:: ישראל

מסירת הודעות

שם:: נובה מכשירי מדידה בע" מ
כתובת:: וייצמן פארק למדע, רחובות 76100
מדינה:: ישראל

מסמכים

פטנטים דומים