קונץ פטנט
ראשי
חיפוש פטנטים
אודות
צור קשר
הרכב לליטוש כימי–מכני המכיל יון מתכתי ושיטה לשימוש בו
פטנט 182537
כללי
מספר פטנט:
182537
שם האמצאה:
הרכב לליטוש כימי–מכני המכיל יון מתכתי ושיטה לשימוש בו
שם באנגלית:
METAL ION-CONTAINING CMP COMPOSITION AND METHOD FOR USING THE SAME
בקשות ופרסומים
תאריך
סוג
מספר
מדינה
פרסום בינלאומי
2006/049892
הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
27/10/2004
דין קדימה
10/974460
ארה"ב (US)
21/10/2005
בקשה בינלאומית
PCT/US/2005/037831
ארה"ב (US)
12/04/2007
בקשת PCT
182537
ישראל (IL)
28/02/2013
פרסום לאומי
182537
ישראל (IL)
מגיש
שם:
CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION
כתובת:
870 NORTH COMMONS DRIVE AURORA, ILLINOIS 60504 , US
מדינה:
ארה"ב
מסירת הודעות
שם:
זליגסון גבריאלי ושות'
כתובת:
רח' יבנה 31, תל אביב 61013
מדינה:
ישראל
טלפון:
03-5661446
פקס:
03-5608458
דוא"ל:
mail@sgl.co.il
סוכן
שם:
זליגסון גבריאלי ושות'
כתובת:
רח' יבנה 31, תל אביב 61013
מדינה:
ישראל
טלפון:
03-5661446
פקס:
03-5608458
דוא"ל:
mail@sgl.co.il
מסמכים
פרטי הבקשה
תביעות
פטנטים דומים
שיטה להשגחת תהליך PMC של שכבות מתכת
מעקב אחר תהליך ליטוש מכנו כימי של מתכות
שיטת ליטוש כימי–מכאני עבור מצעים המכילים מתכת
הרכב להברקה כימית-מכנית המכיל חלקיקים משפשפים ששונו ע" י סילאן
מבנה בדיקה לבקרת תהליך ליטוש מכנו–כימי של מתכות