כללי
מספר פטנט:
136037
שם האמצאה:
התקן חשיפה, מכונה ליצור התקנים, ושיטה ליצור התקני חשיפה
שם באנגלית:
EXPOSURE APPARATUS, APPARATUS FOR MANUFACTURING DEVICES, AND METHOD OF MANUFACTURING EXPOSURE APPARATUSES
  בקשות ופרסומים
תאריך סוג מספר מדינה
פרסום בינלאומי 1999/025010 הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
דין קדימה 09-310439 יפן (JP)
דין קדימה 09-326363 יפן (JP)
דין קדימה 09-356680 יפן (JP)
בקשה בינלאומית PCT/JP/1998/005073 יפן (JP)
בקשת PCT 136037 ישראל (IL)
פרסום לאומי 136037 ישראל (IL)
  מגיש
שם:
NIKON CORPORATION