מכשור תיאור,מכשור חשיפה ושיטה לייצור התקני מיקרו - פטנט 181506 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 181506
שם האמצאה:: מכשור תיאור,מכשור חשיפה ושיטה לייצור התקני מיקרו
שם באנגלית:: LIGHTING APPARATUS, EXPOSURE APPARATUS AND MICRODEVICE MANUFACTURING METHOD

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
	פרסום בינלאומי	2006/033336	הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
22/09/2004	דין קדימה	2004-275048	יפן (JP)
21/09/2005	בקשה בינלאומית	PCT/JP/2005/017346	יפן (JP)
22/02/2007	בקשת PCT	181506	ישראל (IL)
04/07/2007	פרסום לאומי	181506	ישראל (IL)

מגיש

שם:: NIKON CORPORATION

מגיש/ממציא

שם:: KOMATSUDA, HIDEKI

פטנטים דומים