קונץ פטנט
ראשי
חיפוש פטנטים
אודות
צור קשר
מחסנית משטחי מוליכים למחצה
פטנט 115433
כללי
מספר פטנט:
115433
שם האמצאה:
מחסנית משטחי מוליכים למחצה
שם באנגלית:
SEMICONDUCTOR WAFER CASSETTE
בקשות ופרסומים
תאריך
סוג
מספר
מדינה
26/09/1994
דין קדימה
311954
ארה"ב (US)
27/09/1995
בקשה לאומית
115433
ישראל (IL)
31/12/1995
פרסום לאומי
115433
ישראל (IL)
מגיש
שם:
ASYST TECHNOLOGIES, INC.
פטנטים דומים
התקן לצחצוח רדידים מוליכים למחצה
פרוסת מוליך למחצה והתקן מוליך למחצהלעיבוד סובסטראט מוליך למחצה
שיטה לשינוי טבעו של שטח פנים חשוף של רדיד מוליך למחצה
שיטה לעיבוד שבב מוליך–למחצה, שבב מוליך–למחצה, ומערכת להסרת חרוז–קצה לשימוש עם תהליך ליתוגרפיה שקיעה
תהליך ותרכיב למניעת קעריות בעיבוד שבבים מוליכים למחצה