קונץ פטנט
ראשי
חיפוש פטנטים
אודות
צור קשר
תהליך ותרכיב למניעת קעריות בעיבוד שבבים מוליכים למחצה
פטנט 161771
כללי
מספר פטנט:
161771
שם האמצאה:
תהליך ותרכיב למניעת קעריות בעיבוד שבבים מוליכים למחצה
שם באנגלית:
METHOD AND COMPOSITION TO MINIMZE DISHING IN SEMICONDUCTOR WAFER PROCESSING
בקשות ופרסומים
תאריך
סוג
מספר
מדינה
04/05/2004
בקשה לאומית
161771
ישראל (IL)
20/11/2005
פרסום לאומי
161771
ישראל (IL)
מגיש
שם:
J.G. SYSTEMS, INC.
פטנטים דומים
פרוסת מוליך למחצה והתקן מוליך למחצהלעיבוד סובסטראט מוליך למחצה
שיטה לעיבוד שבב מוליך–למחצה, שבב מוליך–למחצה, ומערכת להסרת חרוז–קצה לשימוש עם תהליך ליתוגרפיה שקיעה
מחסנית משטחי מוליכים למחצה
התקן לצחצוח רדידים מוליכים למחצה
ארכיטקטורה של זרימת פרוסות צורן לשםעיבוד תהליך של פרוסות הצורן