קונץ פטנט
ראשי
חיפוש פטנטים
אודות
צור קשר
פרוסת מוליך למחצה והתקן מוליך למחצהלעיבוד סובסטראט מוליך למחצה
פטנט 137533
כללי
מספר פטנט:
137533
שם האמצאה:
פרוסת מוליך למחצה והתקן מוליך למחצהלעיבוד סובסטראט מוליך למחצה
שם באנגלית:
WAFER CARRIER AND SEMICONDUCTOR APPARATUS FOR PROCESSING A SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
בקשות ופרסומים
תאריך
סוג
מספר
מדינה
פרסום בינלאומי
1999/039144
הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
02/02/1998
דין קדימה
018021
ארה"ב (US)
01/02/1999
בקשה בינלאומית
PCT/US/1999/002100
ארה"ב (US)
26/07/2000
בקשת PCT
137533
ישראל (IL)
24/07/2001
פרסום לאומי
137533
ישראל (IL)
מגיש
שם:
SILICON VALLEY GROUP THERMAL SYSTEMS, LLC
פטנטים דומים
שיטה לחיתוך של מצע מוליך למחצה ושיטה לייצור התקן מוליך למחצה
שיטה לעיבוד שבב מוליך–למחצה, שבב מוליך–למחצה, ומערכת להסרת חרוז–קצה לשימוש עם תהליך ליתוגרפיה שקיעה
שיטה ליצור רכיבים מוליכים למחצה על מצע, ומצע הכולל רכיבים מוליכים למחצה
מהדק למרקע לשימוש בייצור של מוליכיםלמחצה
מהדק למרקע לשימוש כייצור של מוליכיםלמחצה