בדיקת וופר ו/או חיזוי אחד או יותר תכונות של ההתקן שמיוצר על וופר - פטנט 236957 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 236957
שם האמצאה:: בדיקת וופר ו/או חיזוי אחד או יותר תכונות של ההתקן שמיוצר על וופר
שם באנגלית:: INSPECTING A WAFER AND/OR PREDICTING ONE OR MORE CHARACTERISTICS OF A DEVICE BEING FORMED ON A WAFER

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
	פרסום בינלאומי	2014/022682	הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
01/08/2012	דין קדימה	61/678576	ארה"ב (US)
02/03/2013	דין קדימה	13/783291	ארה"ב (US)
01/08/2013	בקשה בינלאומית	PCT/US/2013/053252	ארה"ב (US)
28/01/2015	בקשת PCT	236957	ישראל (IL)
31/03/2015	פרסום לאומי	236957	ישראל (IL)

סיווגים (IPC)

G01N: פיזיקה > מדידה; בדיקה

מגיש

שם:: KLA-TENCOR CORPORATION

פטנטים דומים