כללי
מספר פטנט:
230459
שם האמצאה:
מערכת אופטית ושיטה למדידה במבנים עם תבניות
שם באנגלית:
OPTICAL SYSTEM AND METHOD FOR MEASURING IN PATTERNED STRUCTURES
  בקשות ופרסומים
תאריך סוג מספר מדינה
פרסום בינלאומי 2013/011508 הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
דין קדימה 61/509127 ארה"ב (US)
בקשה בינלאומית PCT/IL/2012/050253 ישראל (IL)
בקשת PCT 230459 ישראל (IL)
פרסום לאומי 230459 ישראל (IL)
  סיווגים (IPC)
  • G03F: פיזיקה > צילום; סינמטוגרפיה; טכניקות אנלוגיות באמצעות גלים שאינם אופטיים; אלקטרוגרפיה; הולוגרפיה