תהליך והתקן לקביעת שגיאה בשכבה - פטנט 223965 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 223965
שם האמצאה:: תהליך והתקן לקביעת שגיאה בשכבה
שם באנגלית:: METHOD AND APPARATUS FOR DETERMING AN OVERLAY ERROR

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
	פרסום בינלאומי	2012/010458	הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
19/07/2010	דין קדימה	61/365,538	ארה"ב (US)
12/07/2011	בקשה בינלאומית	PCT/EP/2011/061822	משרד הפטנטים האירופי (EP)
27/12/2012	בקשת PCT	223965	ישראל (IL)
28/02/2013	פרסום לאומי	223965	ישראל (IL)

סיווגים (IPC)

G03F: פיזיקה > צילום; סינמטוגרפיה; טכניקות אנלוגיות באמצעות גלים שאינם אופטיים; אלקטרוגרפיה; הולוגרפיה

מגיש

שם:: ASML NETHERLANDS B.V.

פטנטים דומים