שיטה למדידת שגיאת חפיפה ושיטה לייצור מכשיר מדידה - פטנט 210974 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 210974
שם האמצאה:: שיטה למדידת שגיאת חפיפה ושיטה לייצור מכשיר מדידה
שם באנגלית:: A METHOD OF MEASURING OVERLAY ERROR AND A DEVICE MANUFACTURING METHOD

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
	פרסום בינלאומי	2010/020331	הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
19/08/2008	דין קדימה	61/090118	ארה"ב (US)
27/07/2009	בקשה בינלאומית	PCT/EP/2009/005422	משרד הפטנטים האירופי (EP)
31/01/2011	בקשת PCT	210974	ישראל (IL)
28/04/2011	פרסום לאומי	210974	ישראל (IL)

סיווגים (IPC)

G03F: פיזיקה > צילום; סינמטוגרפיה; טכניקות אנלוגיות באמצעות גלים שאינם אופטיים; אלקטרוגרפיה; הולוגרפיה

מגיש

שם:: ASML NETHERLANDS B.V.

פטנטים דומים