שיטה לקביעת שגיאת כיסוי - פטנט 216143 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 216143
שם האמצאה:: שיטה לקביעת שגיאת כיסוי
שם באנגלית:: METHOD OF DETERMINING OVERLAY ERROR

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
	פרסום בינלאומי	2010/130516	הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
11/05/2009	דין קדימה	61/177081	ארה"ב (US)
13/04/2010	בקשה בינלאומית	PCT/EP/2010/054820	משרד הפטנטים האירופי (EP)
03/11/2011	בקשת PCT	216143	ישראל (IL)
29/02/2016	פרסום לאומי	216143	ישראל (IL)

מגיש

שם:: ASML NETHERLANDS B.V.
כתובת:: DE RUN 6501 NL-5504 DR VELDHOVEN , NL
מדינה:: הולנד

מסירת הודעות

שם:: לוצאטו את לוצאטו
כתובת:: גן תעשייה, עומר, באר שבע 84152
מדינה:: ישראל
טלפון:: 073-2262626
פקס:: 073-2262627
דוא"ל:: ilpto@luzzatto.co.il

סוכן

שם:: לוצאטו את לוצאטו
כתובת:: גן תעשייה, עומר, באר שבע 84152
מדינה:: ישראל
טלפון:: 073-2262626
פקס:: 073-2262627
דוא"ל:: ilpto@luzzatto.co.il

מסמכים

פטנטים דומים