שיטה ומערכת עבור קביעה של שגיאת כיסוי - פטנט 221519 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 221519
שם האמצאה:: שיטה ומערכת עבור קביעה של שגיאת כיסוי
שם באנגלית:: METHOD AND APPARATUS FOR DETERMINING AN OVERLAY ERROR

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
30/08/2011	דין קדימה	61/528941	ארה"ב (US)
16/08/2012	בקשה לאומית	221519	ישראל (IL)
29/11/2012	פרסום לאומי	221519	ישראל (IL)

סיווגים (IPC)

G01N: פיזיקה > מדידה; בדיקה

מגיש

שם:: ASML NETHERLANDS B.V.

פטנטים דומים