קונץ פטנט
ראשי
חיפוש פטנטים
אודות
צור קשר
שיטת ליטוש כימי–מכאני של מצעי נחושת/רותניום/טנטל
פטנט 198373
כללי
מספר פטנט:
198373
שם האמצאה:
שיטת ליטוש כימי–מכאני של מצעי נחושת/רותניום/טנטל
שם באנגלית:
CMP OF COPPER/RUTHENIUM/TANTALUM SUBSTRATES
בקשות ופרסומים
תאריך
סוג
מספר
מדינה
פרסום בינלאומי
2008/057593
הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
02/11/2006
דין קדימה
11/591730
ארה"ב (US)
01/11/2007
בקשה בינלאומית
PCT/US/2007/023576
ארה"ב (US)
26/04/2009
בקשת PCT
198373
ישראל (IL)
31/03/2014
פרסום לאומי
198373
ישראל (IL)
מגיש
שם:
CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION
כתובת:
870 NORTH COMMONS DRIVE AURORA, ILLINOIS 60504 , US
מדינה:
ארה"ב
מסירת הודעות
שם:
זליגסון גבריאלי ושות'
כתובת:
רח' יבנה 31, תל אביב 61013
מדינה:
ישראל
טלפון:
03-5661446
פקס:
03-5608458
דוא"ל:
mail@sgl.co.il
סוכן
שם:
זליגסון גבריאלי ושות'
כתובת:
רח' יבנה 31, תל אביב 61013
מדינה:
ישראל
טלפון:
03-5661446
פקס:
03-5608458
דוא"ל:
mail@sgl.co.il
מסמכים
פרטי הבקשה
תביעות
פטנטים דומים
ליטוש כימי–מכני של מצעי נחושת/רותניום
שיטת ליטוש כימי–מכני עבור מוסבים המכילים נחושת
שיטת ליטוש כימי–מכאני עבור מצעים המכילים מתכת
משחה להברקה כימית מכנית שימושית למצעי נחושת\טנטלום
תערובות אבקתיות של טנטלום וטנטלום ניטריד עבור סובסטרטים של קבלים אלקטרוליטים