קונץ פטנט
ראשי
חיפוש פטנטים
אודות
צור קשר
משחה להברקה כימית מכנית שימושית למצעי נחושת\טנטלום
פטנט 140302
כללי
מספר פטנט:
140302
שם האמצאה:
משחה להברקה כימית מכנית שימושית למצעי נחושת\טנטלום
שם באנגלית:
CHEMICAL MECHANICAL POLISHING SLURRY USEFUL FOR COPPER/TANTALUM SUBSTRATES
בקשות ופרסומים
תאריך
סוג
מספר
מדינה
פרסום בינלאומי
2000/000561
הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
26/06/1998
דין קדימה
105065
ארה"ב (US)
25/06/1999
בקשה בינלאומית
PCT/US/1999/014556
ארה"ב (US)
14/12/2000
בקשת PCT
140302
ישראל (IL)
10/02/2002
פרסום לאומי
140302
ישראל (IL)
מגיש
שם:
CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION
פטנטים דומים
משחה להברקת כימית מכנית שימושית למצע נחושת\טנטלום
שיטת ליטוש כימי–מכאני של מצעי נחושת/רותניום/טנטל
תערובות אבקתיות של טנטלום וטנטלום ניטריד עבור סובסטרטים של קבלים אלקטרוליטים
סובסטרטים של טאנטאלום–סיליקון וניוביום–סיליקון עבור אנודות של קבלים
מטרה פולטת טנטלום