שיטת ליטוש כימי–מכני עבור מוסבים המכילים נחושת - פטנט 194462 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 194462
שם האמצאה:: שיטת ליטוש כימי–מכני עבור מוסבים המכילים נחושת
שם באנגלית:: CMP METHOD FOR COPPER-CONTAINING SUBSTRATES

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
	פרסום בינלאומי	2007/126672	הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
21/04/2006	דין קדימה	11/408334	ארה"ב (US)
22/03/2007	בקשה בינלאומית	PCT/US/2007/007123	ארה"ב (US)
02/10/2008	בקשת PCT	194462	ישראל (IL)
03/08/2009	פרסום לאומי	194462	ישראל (IL)

סיווגים (IPC)

B24B: תחבורה > טחינה; ליטוש

מגיש

שם:: CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION

פטנטים דומים