קונץ פטנט
ראשי
חיפוש פטנטים
אודות
צור קשר
ליטוש כימי–מכני של מצעי נחושת/רותניום
פטנט 190342
כללי
מספר פטנט:
190342
שם האמצאה:
ליטוש כימי–מכני של מצעי נחושת/רותניום
שם באנגלית:
CMP OF COPPER/RUTHENIUM SUBSTRATES
בקשות ופרסומים
תאריך
סוג
מספר
מדינה
פרסום בינלאומי
2007/050313
הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
26/10/2005
דין קדימה
11/259645
ארה"ב (US)
12/10/2006
בקשה בינלאומית
PCT/US/2006/039956
ארה"ב (US)
20/03/2008
בקשת PCT
190342
ישראל (IL)
28/06/2012
פרסום לאומי
190342
ישראל (IL)
מגיש
שם:
CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION
כתובת:
870 NORTH COMMONS DRIVE AURORA, ILLINOIS 60504 , US
מדינה:
ארה"ב
מסירת הודעות
שם:
זליגסון גבריאלי ושות'
כתובת:
רח' יבנה 31, תל אביב 61013
מדינה:
ישראל
טלפון:
03-5661446
פקס:
03-5608458
דוא"ל:
mail@sgl.co.il
סוכן
שם:
זליגסון גבריאלי ושות'
כתובת:
רח' יבנה 31, תל אביב 61013
מדינה:
ישראל
טלפון:
03-5661446
פקס:
03-5608458
דוא"ל:
mail@sgl.co.il
מסמכים
פרטי הבקשה
תביעות
פטנטים דומים
שיטת ליטוש כימי–מכאני של מצעי נחושת/רותניום/טנטל
שיטת ליטוש כימי–מכני עבור מוסבים המכילים נחושת
שיטת ליטוש כימי–מכאני עבור מצעים המכילים מתכת
שיטה להשגחת תהליך PMC של שכבות מתכת
קומפלקסים מבוססי רותניום