התקן ושיטה לצבוע מטרולוגיות עובי עםשכבת קרום דקה ורזולוציה מרחיבת - פטנט 109589 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 109589
שם האמצאה:: התקן ושיטה לצבוע מטרולוגיות עובי עםשכבת קרום דקה ורזולוציה מרחיבת
שם באנגלית:: APPARATUS AND METHOD FOR PERFORMINGHIGH SPATIAL RESOLUTION THIN FILM LAYER THICKNESS METROLOGY

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
14/05/1993	דין קדימה	064,316	ארה"ב (US)
06/05/1994	בקשה לאומית	109589	ישראל (IL)
26/08/1994	פרסום לאומי	109589	ישראל (IL)

מגיש

שם:: HUGHES AIRCRAFT COMPANY

פטנטים דומים